細く絞った電子線を試料表面に照射して、その部分より発生する特性 Ｘ線を試料から発生する他の放射線と分けて分光し、試料表面に存在する元素を分析する装置。また試料表面から発生する二次電子を検出することにより走査電子像を、反射電子を検出することにより凹凸像、組織像をそれぞれ観察できる装置をいう。このようにエックス線マイクロアナライザーは、Ｘ線分析と走査型電子顕微鏡の両機能をもっている。